与光刻机相关的 ETF 主要是一些投资于半导体芯片行业的 ETF，具体如下1：

• ETF 半导体芯片基金

• 国泰 CES 半导体芯片 ETF（512760）：聚焦半导体全产业链，其成分股包含了一些与光刻机相关的企业，如中微公司、北方华创等。

• 国联安中证半导体 ETF（512480）：投资于半导体行业相关企业，涵盖了半导体产业链多个环节，其中也有涉及光刻机业务或为光刻机产业链提供配套产品和服务的公司。

• 华夏国证半导体芯片 ETF（159995）：跟踪国证半导体芯片指数，覆盖中芯国际、韦尔股份、兆易创新等龙头，这些企业与光刻机产业存在一定的关联，比如中芯国际是芯片制造企业，对光刻机有需求，而韦尔股份等企业的产品也可能应用于光刻机相关的设备或系统中。

• 广发国证半导体芯片 ETF（159801）：追踪国证芯片指数，重仓中芯国际、紫光国微等，同样包含了一些与光刻机产业链有联系的公司。

• 鹏华国证半导体芯片 ETF（159813）：覆盖国内半导体设备、材料、设计领域头部企业，其中部分企业在光刻机产业链中扮演着重要角色，如一些半导体设备供应商可能为光刻机提供零部件或技术支持。

• 半导体设备 ETF（561980）：聚焦于半导体设备和材料等上游产业链，直接包含光刻机等关键设备的相关企业，其标的指数的前十大权重股中包含北方华创、中微公司等企业，这些公司在半导体设备领域具有重要地位，与光刻机产业紧密相关。

• 科创芯片 ETF（588200）：追踪上证科创板芯片指数，从科创板上市公司中选取业务涉及半导体材料和设备、芯片设计、芯片制造、芯片封装和测试相关的证券作为指数样本，聚焦光刻机、EDA、第三代半导体等 “卡脖子” 领域，成分股中有一些专注于高端芯片制造和半导体设备研发的公司，与光刻机产业的发展密切相关。