芯源微通过多年的技术积累，已经掌握包括涂胶显影设备、单片式湿法设备等产品多项核心技术，并形成了完善的自主知识产权体系。芯源微2023年第三季度业绩报告显示，公司研发费用率保持良好水平，达到10.1%。据宗润福介绍，芯源微的前道Track已广泛应用于国内逻辑、存储、功率器件等领域。2023年前三季度，公司的前道Track保持了良好的签单势头，其中浸没式高产能Track下游客户导入进展良好；offline、I-line、KrF等较成熟机台技术指标持续提升，产品竞争力 不断增强；部分新拓展应用品类也成功实现下游客户端导入。“目前公司零部件国产化替代进展良好。”宗润福表示，芯源微持续通过滚动预投、战略备库等方式储备核心部件，确保生产所需。同时，基于供应链安全的考虑，除了与现有核心供方保持良好的合作关系，公司也在积极开发和评估其他合格供方，围绕自身主业全力搭建有序、持续、健康、合规的供应链体系。                                                                            此前，芯源微曾于2021年6月披露，公司拟定增募资不超10亿元，扣除发行费用后的净额将用于上海临港研发及产业化项目、高端 晶圆处理设备产业化项目（二期）及补充流动资金。 据芯源微彼时公告，上海临港研发及产业化项目由公司全资子公司上海芯源微企业发展有限公司实施，预计建设期为30个月，项目建成并达产后，主要用于研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用 备。                                                                                芯源微称，通过建设上海临港研发及产业化项目，推出更高工艺等级的前道涂胶显影设备与清洗设备产品，形成前道设备主打优势产品，进一步强化公司在高端设备领域的技术优势并丰富产品结构，提升公司产品的科技水平，为公司长期发展提供核心竞争力和增长力。