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jiangqr007   / 2021-07-31 22:32 发布

南大光电的ArF光刻胶已于去年12月与今年5月31日公告通过50nm闪存平台认证和55nm逻辑电路平台认证,成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。公司目前已完成两条光刻胶生产线的建设,光刻胶年产能将达25吨(干式5吨、浸没式20吨)。