【半导体设备】美商务部拟取消外资在华晶圆厂的美系设备豁免

事件：6月20日，据华尔街日报，美商务部已通知三星、海力士、台积电等在中国大陆拥有晶圆厂的企业，美国拟取消它们在华使用美国技术（主要是半导体设备）的豁免。参与该规则讨论的人表示，撤销豁免并不是一个既定的决议，因为，美国政府中的反对者担心，取消“豁免”最终会提振中国的半导体设备及零部件公司，并最终让中国供应链掌控这些晶圆厂。

观点：美国2022年出口管制新规后，外资晶圆厂在华获得了美商务部的豁免许可，并由初始的一年期许可转为了“无限期豁免”，我们认为尽管短期内国产设备比较难向外资晶圆厂进行导入，但整体而言取消“豁免”的措施有可能影响外资晶圆厂的正常运营和扩产节奏，最终影响其在华布局和竞争力，我国半导体供应链在制造、设备、零部件、材料等多环节有望受益。

芯源微（控制权转移、四代机交付在即，大弹性赛道、竞争格局优） 

中科飞测（明场检测潜在龙头、深度回调、大弹性赛道） 

光刻设备相关

• 张江高科：通过子公司投资了公司，该公司主要致力于半导体装备等的开发、设计、制造、销售及技术服务。

• 茂莱光学：在光刻设备的光学系统等方面有一定的技术实力和市场份额。

• 福晶科技：其晶体材料等产品在光刻设备的光学系统中可能有应用。

刻蚀设备相关

• 北方华创：国内主流高端电子工艺装备供应商，14nm刻蚀设备量产，7nm在研，刻蚀机已陆续供应中芯国际等集成电路制造厂商。

• 中微公司：5nm工艺已通过台积电验证，市占率全球前五，主要产品有电容性等离子体刻蚀设备、电感性等离子体刻蚀设备等。

薄膜沉积设备相关

• 拓荆科技：国内半导体薄膜沉积设备头部厂商，pecvd（等离子体化学气相沉积）龙头，用于28nm及以上制程。

• 北方华创：在薄膜沉积设备领域也有较强的实力，其pvd设备实现14nm量产。

抛光设备相关

• 华海清科：国内12英寸化学机械抛光（cmp）设备唯一供应商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务。

• 盛美上海：除了半导体清洗设备外，也在抛光设备等领域有一定的布局。

清洗设备相关

• 盛美上海：中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商，其半导体清洗设备国内市占率约10%。

• 至纯科技：国内高纯工艺系统及半导体装备领域主流合格供应商，主要为集成电路领域客户提供半导体制程设备等。

封测设备相关

• 长川科技：公司掌握了集成电路测试设备的相关核心技术，所生产的集成电路测试设备的市场需求主要来源于封装测试企业等。

• 华峰测控：主营半导体自动化测试系统，获“第五届中国半导体创新产品和技术”荣誉，是三大半导体封测厂商模拟试领域的主力平台供应商。

其他设备相关

• 晶盛机电：主营晶体硅生长设备，是国际领先的高端光伏装备供应商，其半导体级设备覆盖12/8英寸硅片制备，碳化硅单晶炉实现量产应用。

• 新益昌：国内led封装、电容器老化测试智能制造装备领域的领先企业，也从事半导体等行业智能制造装备的研发、生产和销售。

远航精密833914——铁基替代铜箔是头部大厂的重要方案之一

远航精密: 第二个纳科诺尔，技术与客户卡位出色

铁基替代铜箔是头部大厂的重要方案之一

由于铜还原电位低，硫化物电解质中的硫离子易与铜反应，生成硫化亚铜（Cu₂S）或硫化铜（CuS），阻断电子传导，而铁基材料反应自由能高且表面易形成钝化层，硫化反应难以进行，因此，在头部大厂中，用铁基替代硫基是重要的方案之一。

主业：深耕高精度的镍带、箔产品，下游应用领域涵盖动力电池，消费电子等，主要客户包括ATL，国轩，LG，冠宇等头部电池企业。

技术：公司当前镍带厚度最薄可达20μm，行业领先，正积极开发电沉积法相关工艺。

进展：公司目前已经与头部电池厂技术对接，后续有望通过技术领先性卡位供应链。

业绩：公司今年主业业绩1e，当前估值仅20X，北交所严重低估标的。

空间测算

假设30年全固态电池100GWh规模，假设均采用不锈钢集流体，单GWh用量500吨，价格假设20万元/吨，测算市场空间约100亿，假如远航精密镍铁合金集流体40%的渗透率，10-15%利润率，则对应4-6亿利润空间，给20X，可以看到5倍空间。来自网络分享，观点仅供参考。

中美核聚变投资加速，从实验堆向商业化前进

事件：中油资本公告，拟出资6.55亿元，与中国石油集团、中国石油股份以自有资金按原有持股比例共同向昆仑资本进行增资，用于投资可控核聚变项目。国内聚变领域资金活水不断涌入，推动现有装置加速迭代升级和招标落地。

1、据天眼查数据，中油资本目前持有昆仑资本20%股权，因此，若中油资本、中石油集团、中石油股份三家以原有持股比例共同增资昆仑资本，则此次三家共计增资32.75亿元，增资后出资规模达147.25亿元。

2、昆仑资本积极布局核聚变链条，昆仑资本参与的聚变产业链公司包括：聚变新能（持股20%）、中国聚变（拟持股20%）、上海超导（昆仑资本投Pre-IPO轮，具体持股比例未公开，估值60e+）、上海太洋（铍产品，持股3.05%）等，显示核聚变行业投资旺盛，行业订单可见度进一步提高。此次为昆仑资本继去年以来第二次大幅增资可控核聚变项目、充分表明中石油集团堆聚变未来趋势的肯定。

3、核聚变商业化提速明显，6月16日，美国聚变产业协会（FIA）发布了《聚变项目的高效审批》指南文件，鉴于89%的聚变开发商确信自己将在2030年代或更早实现聚变能源商业化，该文件概述了支持聚变电站高效部署所需的审批政策，并呼吁建立快速响应、规模适配且符合项目特性的审批流程；日本正式发布了修订后的《聚变能源创新战略》文件，与上次修订相比，本次修订将发电实证节点正式从2050年代提前至2030年代，聚变产业提速明显。

4、为什么当下是可控核聚变的新阶段？

- 政策与资本双轮驱动产业化。1）政策上，中国通过多项财政支持、央企协同、研发创新及安全监管等政策举措推动核聚变产业发展；海外锁定30-40年代商用时间窗口，技术路线多样。2）投资上，24年全球聚变企业达50家，80%为私营，美国占半数，国内以聚变新能和中国聚变能领衔，聚焦25-30年的Q值验证和30-40年的商业电站落地目标。

- 多种技术路径百花齐放、实验&工程有望突破。1）高温超导磁体将托卡马克体积缩小至传统装置的1/40，成本降低、迭代加速，是未来发展方向； 2）直线型磁惯性装置Helion计划25年下半年达到Q>1，28年实现50MW商用并网；3）NIF惯性路径单次点火Q>2；提出聚变-裂变混合堆规划等。

- 装置密集建设期、招标体量大。核聚变单堆实验装置投资百亿元量级，国内25-27年是聚变装置密集建设期，包括BEST、洪荒170、和龙-2、星火一号等，综合年均投资超100亿元，规模体量大。

- 节点验证即将到来、拐点渐近。25-26年SPARC与Helion将验证高温超导/磁惯性路线的Q值；27-28年国内多个装置建设完成，验证自主可控Q值。

5、基于大国竞争视角，目前行业的长期成长趋势已经确立，国际及国内装置加速建设下，零部件企业订单有望得到充分释放，同时国内后续或有潜在的行业顶层设计或支持资金预期。

7、天府核聚变论坛反馈：

- 环流三号三乘积创新高。环流三号近期三乘积达到10的20次方量级，距离“点火”只差一个数量级；HL-3目标在于高性能等离子体运行及相关物理研究(高密度、高比压、高自举电流)、先进偏滤器概念设计与验证、高热负药材料与部件测试等，下一步将迈向氘氚聚变运行实验运行阶段。

- 中核对核聚变的重视程度明显提高。近年中核对核聚变的资源投入明显增加，体现在相关研究人员的待遇、所内研究生/博士的招聘力度等方面；上海聚变运行在即，集团已经对相关的人员安排进行过提前摸排，星火一号也在紧锣密鼓推进；中核内部对于核聚变的定位从跟随逐步变为引领，力求在国内实现人类的第一次“点火”。

8、部分可控核聚变公司近况更新：

- 旭光电子：百千瓦级与兆瓦级电子管、馈通线路、快速开关，已有几千万在手订单，包括合肥项目及海外客户。此外还在储备其他产品提升价值量。核聚变电子管为耗材，目前仅旭光、法国泰勒斯。

- 联创光电：高温超导磁体+低温系统龙头，项目投资占比约1/3，目前已有星火一号、合肥项目订单。预计星火一号年底前拿到环评，招标有望启动（公司全拿的话订单40亿+）。

- 国光电气：真空室、偏滤器、包层等设备及涉氚设备等，环流3号改造去年11月份已拿到约3000万订单，预计今年交付；其他国内项目也在对接，卡位优势好。

- 合锻智能：真空室已拿到BEST项目2.1亿订单，并向偏滤器、第一壁拓展。合肥BEST项目核心供应商。

- 精达股份：持股的上海超导，系国内高温超导带材头部供应商，客户包括联创、能量奇点及科研院所等，毛利率70%-80%。同时，子公司恒丰特导受益数据中心增长明显。

- 安泰科技：第一壁（钨或钨铜合金）、偏滤器（钨基复合材料）等，1）早年已给ITER供货；2）BEST：4月份招标4000万，预计9月份交付，还会有后续招标，国内其他家也在对接。

- 王子新材：加热&储能电容器领先供应商，已接BEST单子金额在4000+万，独供；其他项目也接触，比如先觉项目。

- 弘讯科技：校正场线圈电源控制系统，1）ITER先导项目“JT-60SA”中标金额180万欧元，23年12月已完成交付并点火；2）意大利ENEA的DTT项目，中标金额360万欧元，预计2025年完成。每日调研精选