半导体零部件的企业不多，主要是富创精密、 华亚智能、正帆科技、美迪凯、神工股份、有研硅、汉钟精机。



富创精密：公司是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。

2022年半导体零部件营收12.94亿元，估值227.9亿元、今年以来，公司在持续为北方华创供应的同时，营收在拓荆科技，华海清科等客户端均有增长。

华亚智能：公司主营的精密金属结构件约占半导体设备价值量的6%，2022年全球市场规模约400亿元人民币，公司份额不足1%，成长空间广阔。公司已切入AMAT、LAM等全球半导体设备龙头供应链体系，后续随海外半导体景气回暖、国内零部件进口替代加速，公司新建项目产能释放，基本面有望逐步回暖。

2022年精密金属结构件6.11亿，半导体设备维修635.53万，估值45.18亿。

正帆科技：正帆科技致力于服务中国泛半导体行业（包括集成电路、太阳能光伏、平板显示、半导体照明、光纤制造等）和生物医药等高科技产业，向客户提供电子大宗气、电子特气和湿化学品，相关气化供应系统、物料供应系统和特种装备，以及快速响应、设备维保和TGCM等增值服务。

集成电路是公司目前增速最快的业务，气柜模组（GasBox）为干法泛半导体设备内部的模组化气体供应系统。是公司特有的服务厂商。

美迪凯：主要从事各类光学光电子元器件的研发、制造和销售及提供光学光电子产品精密加工制造服务。公司主要产品和服务包括有半导体零部件及精密加工服务、生物识别零部件及精密加工服务、影像光学零部件、AR/MR光学零部件精密加工服务。

神工股份及有研硅是做刻蚀用零部件硅片的，之前有专门的文章说过，不再多说了。

汉钟精机：主要产品有商用空调压缩机、冷冻冷藏压缩机、热泵压缩机、空压产品、太阳能光伏真空泵、半导体行业真空泵。

国内目前能搜到涉及半导体维修企业就两家富乐德、华亚智能。

华亚智能已经在上面说过了。

富乐德：具体包括：半导体设备洗净服务、显示面板设备清洗服务（TFT设备洗净、OLED设备洗净、陶瓷熔射再生和阳极氧化再生服务），及半导体设备维修服务等三大类。

公司报告期内所提供的半导体设备维修服务（即 HS 翻新服务），主要是为 CMP 设备研磨头进行清洗、配件更换维修 再生服务。